太阳能电池测试系统
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多入射角激光椭偏仪

多入射角激光椭偏仪


高端研发领域专用的多入射角激光椭偏仪,采用多项专利技术,仪器硬件和软件具有多项定制功能设计,适用于光面或绒面纳米薄膜测量、块状固体参数测量、快速变化的纳米薄膜实时测量等不同的应用场合。 产品特点: 1.高精度、高稳定性 2.一体化集成设计 3.测量简单 4.快速、高精度样品方位对准 5.多角度测量 6.实时测量 7.丰富的材料库及物理模型 8.强大的数据分析和管理功能 应用领域: 可应用于纳米薄膜的几乎所有领域,如微电子、半导体、生命科学、电化学、显示技术、磁介质及金属处理等。可对纳米层构样品的薄膜厚度和折射率n及消光系数k进行快速、高精度、高准确度的测量,尤其适用于科研和工业产品环境中的新品研发及质量监控,可用于表征单层纳米薄膜、多层纳米层构模系,以及块状材料(基底)。

技术指标:

 

激光波长

632.8nm(He-Ne laser)

膜层厚度精度

0.01nm(对于Si 基底上110nm SiO2 膜层

折射率精度

1x10-4 (对于Si 基底上110nm SiO2 膜层

光学结构

PSCA

激光光束直径

<1mm

入射角度

40°-90°可选,步进5°

样品方位调整

三维平移调节;±6.5mmX-Y-Z三轴)

二维俯仰调节:±4°

光学自准直系统对准

样品台尺寸

Φ 170mm

单次测量时间

0.2s

推荐测量范围

0-6000nm

大外形尺寸(长xx高)

887x332x552mm(入射角为90°

仪器重量(净重)

25kg


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